[发明专利]陷阱电荷与噪声幅值相关性解析模型的构建方法在审

专利信息
申请号: 202110542541.7 申请日: 2021-05-18
公开(公告)号: CN113297732A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 郝敏如;张艳;邵敏 申请(专利权)人: 西安石油大学
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 王海栋
地址: 710000 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种陷阱电荷与噪声幅值相关性解析模型的构建方法,包括:获取单轴应变硅纳米N型金属氧化物半导体场效应晶体管NMOSFET,确定NMOSFET的陷阱电荷浓度,陷阱电荷包括氧化层陷阱电荷浓度及界面态陷阱电荷浓度,根据氧化层陷阱电荷浓度,确定第一阈值电压漂移量,并根据界面态陷阱电荷浓度,确定第二阈值电压漂移量,确定NMOSFET的阈值电压,根据第一阈值电压漂移量、第二阈值电压漂移量、NMOSFET的陷阱电荷浓度和阈值电压,构建陷阱电荷与噪声幅值相关性解析模型,有利于根据噪声定量评估总剂量辐照效应下MOS器件内部潜在缺陷的情况,从而保证MOS器件在辐射环境下的可靠性。
搜索关键词: 陷阱 电荷 噪声 相关性 解析 模型 构建 方法
【主权项】:
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