[发明专利]多个带电粒子束的装置在审
| 申请号： | 202110492081.1 | 申请日： | 2017-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN113192815A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 任伟明;刘学东;胡学让;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/145;H01J37/147;H01J37/22;H01J37/28;G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及多个带电粒子束的装置。提出了一种具有尺寸、取向和入射角可变的总FOV的新多束装置。新装置提供了加速样本观察和使得更多样本可观察的更大灵活性。更具体地，作为在半导体制造工业中检查和/或审查晶片/掩模上的缺陷的产量管理工具，新装置提供了实现高吞吐量和检测更多种类的缺陷的更多可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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