[发明专利]半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备有效
| 申请号： | 202110442030.8 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113305093B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备，清洗槽包括：清洗槽本体、滚动机构、混合循环机构、驱动机构和传动机构；滚动机构可转动地设置于清洗槽本体的底板上，用于承载并带动炉管或晶舟滚动；混合循环机构可转动地设置于清洗槽本体的侧壁上，用于对注入清洗槽本体内的药液进行混合和/或使药液循环流动；驱动机构设置于清洗槽本体的侧壁上，通过传动结构与滚动机构、混合循环机构传动连接，用于驱动滚动机构、混合循环机构转动。本发明提供的技术方案可以高效地混合药液并使槽内药液高效循环，提升了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 中的 | ||
【主权项】：
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