[发明专利]光纤光栅湿度传感器及其制作方法在审
申请号: | 202110388552.4 | 申请日: | 2021-04-12 |
公开(公告)号: | CN113155310A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 高涛;黄旌;韩梅;杨钰;郭辉;陈璞;李猛;郭娟 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军空军工程大学航空机务士官学校 |
主分类号: | G01K11/3206 | 分类号: | G01K11/3206 |
代理公司: | 郑州金成知识产权事务所(普通合伙) 41121 | 代理人: | 郭增欣 |
地址: | 464000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种光纤光栅湿度传感器,对现有的光纤SPR探针进行检测,并依据检测结果进行分类;对不达标的光纤SPR探针进行去膜处理,获得重复使用的光纤SPR探针;对获取的光纤SPR探针进行预处理;并对处理后的光纤SPR探针采用提拉法进行镀膜,重复,获取不同覆膜厚度的光纤SPR探针;本发明通过对覆膜失效的光纤SPR探针进行可逆性处理,获取性能完好的光纤SPR探针,并对光纤SPR探针重新覆膜,获得不同覆膜厚度的有效光纤SPR探针,具有废物利用和节省资源功能。 | ||
搜索关键词: | 光纤 光栅 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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