[发明专利]一种双侧斐索干涉仪检测装置有效
| 申请号： | 202110383929.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113203357B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 魏相宇;唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;陈梦来 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双侧斐索 干涉仪 检测 装置 | ||
【主权项】：
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