[发明专利]一种基于晶体共振频率的真空度检测系统在审
| 申请号： | 202110377438.1 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN112880913A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 夏雨健;陈双明;刘啸嵩;宋礼 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01L21/22 | 分类号： | G01L21/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于晶体共振频率的真空度检测系统，包括：石英晶体，所述石英晶体置于待测真空腔体内；谐振电路，所述谐振电路与所述石英晶体相连，用于控制所述石英晶体进行谐振；谐振信号发生器，所述谐振信号发生器与所述石英晶体相连，用于控制所述谐振电路发生谐振；谐振检测器，用于基于所述谐振电路检测所述石英晶体的谐振频率，上述测量装置中由于石英晶体的元器件尺寸小，因此可以灵活摆放于小空间内，实现了小型空间内的真空程度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 晶体 共振频率 真空 检测 系统 | ||
【主权项】：
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