[发明专利]一种纳米颗粒复合磁芯膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110373226.6 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113192720B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 白飞明;邹想;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01F10/12 | 分类号： | H01F10/12;H01F10/18;H01F10/187;H01F41/18;H01F41/22;H01F41/30;H01F27/24 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种纳米颗粒复合磁芯膜，包括铁磁金属与X’O的复合颗粒，以及包覆于复合颗粒表面的XO非晶颗粒层，复合颗粒与非晶颗粒层形成核‑壳结构；其中，铁磁金属的氧化物生成焓的绝对值＜X’的氧化物生成焓的绝对值＜X的氧化物生成焓的绝对值；所述复合磁芯膜中，铁磁金属的体积百分比为60％～80％，X’O的体积百分比为10％～30％，XO的体积百分比为10％～30％。本发明提供的一种纳米颗粒复合磁芯膜，首先通过磁控溅射形成MX’合金的表面包覆XO氧化层的结构，以较低的体积含量实现增大薄膜电阻率的目的；其次，在氧化气氛中退火处理，使得X’氧化并析出，细化磁性颗粒，引入随机各向异性，有效降低薄膜的矫顽力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 颗粒 复合 磁芯膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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