[发明专利]一种提高COF基挠性覆铜板剥离强度的方法在审
| 申请号： | 202110365941.5 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113179586A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;郭海滨;许磊;郑辉 | 申请（专利权）人： | 华北水利水电大学 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;C23C28/02;C25D3/38;C23C14/34;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 王晓丽 |
| 地址： | 450011 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种提高COF基挠性覆铜板剥离强度的方法，包括以下步骤：a.对基材进行电晕处理，得到表面改性的基材；b.用等离子体对基材表面进行清洁；c.直接溅镀Cu/Ni层，在Cu/Ni层表面溅镀Cu层；d.在Cu层表面电镀沉铜层得到2L‑FCCL。本发明主要是采用卷对卷生产方式，电晕处理和等离子体处理工艺同时使用，对基材表面处理效果可以达到最优化；IR加热、等离子体处理、溅镀Cu/Ni层和Cu层在设备中依次完成，减少中间环节，防止污染基材；seed layer层用Cu/Ni层代替，其靶材比例为55/45，相比于Ni/Cr靶材，环境污染小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 cof 基挠性覆 铜板 剥离 强度 方法 | ||
【主权项】：
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