[发明专利]一种负压式纳米压印设备及其压印方法在审
| 申请号： | 202110356933.4 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113075859A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种负压式纳米压印设备，包括：上吸盘，其下表面设置有真空槽组A以及密封槽，密封槽围绕于真空槽组A外侧，与真空槽组A上连接有真空发生装置；下吸盘，其上表面设置有真空槽组B，真空槽组B与真空发生装置连接，下吸盘的侧面设置有可伸缩的密封凸起，密封凸起与密封槽对应，以使密封凸起与密封槽配合时，上吸盘与下吸盘之间形成密闭的压印腔，下吸盘上设置有负压孔，负压孔与真空发生装置连接。一种压印方法，包括以下步骤：S1、确定零点位置；S2、上料；S3、点胶；S4、设置负压环境；S5、纳米压印；S6、固化；S7、脱模。本发明可保证胶体完全填充纳米结构，且抽真空的速度快，提高了生产效率以及产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 负压式 纳米 压印 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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