[发明专利]氮化硼模板及其制备方法在审
| 申请号： | 202110356419.0 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113089091A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张纪才;谭庶欣 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/40;C23C16/02;C23C16/34;H01L33/00;H01L33/32 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化硼模板及其制备方法。所述氮化硼模板的制备方法包括：先于异质衬底上生长形成氮化硼缓冲层，之后在所述氮化硼缓冲层上生长六方氮化硼层。本发明实施例提供的一种氮化硼模板的制备方法，高温沉积形成的高温BN缓冲层可以有效的消除衬底与氮化硼模板的晶格常数失配，从而减少缺陷和缓解失配应力导致的系列问题，从而提高氮化硼模板的质量和完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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