[发明专利]一种碳化钽片的制备方法在审
| 申请号： | 202110347357.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088869A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/64 | 分类号： | C23C8/64 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 赵君 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区哈工大沿海*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种碳化钽片的制备方法，它属于碳化钽材料的制备技术领域。本发明要解决的技术问题为材料表面平整性的问题。本发明将氮化硅楔子贴着石墨加热器内壁竖直放置，将1个氮化硅圆片放入3支楔子之间，贴于石墨加热器内底面放置，再在氮化硅圆片上按照顺序放置1个石墨粉圆片、1个钽片，然后再在钽片上方放置1个石墨粉圆片和1个钽片，以此顺序一共放置6个石墨粉圆片和5个钽片，然后放置1个氮化硅圆片，旋紧石墨加热器的上盖后将石墨加热器整体放入感应加热炉中，在抽真空后，在4个小时内将温度升高到1800℃，然后在炉内充入保护气体，使炉压达到750Torr，保温1h，之后将炉温升至2100℃反应。本发明用于碳化钽片的生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 制备 方法 | ||
【主权项】：
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