[发明专利]焊接装置及衬垫的异常的检测方法有效
| 申请号： | 202110347319.1 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113145965B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 桧山勉;小岛信弘 | 申请（专利权）人： | 千住金属工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00;B23K3/08;G01M3/02;G01M3/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;张一舟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供焊接装置及衬垫的异常的检测方法。提供一种焊接装置。焊接装置具有：炉体，具备对基板进行处理的处理室；衬垫，设在炉体的至少一部分，构成为将炉体密封；密闭空间，被从处理室隔离，由炉体和衬垫划定；气体供给装置，构成为向密闭空间内供给第1气体；以及测量装置，构成为测量密闭空间内的压力或密闭空间内的第2气体的浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 焊接 装置 衬垫 异常 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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