[发明专利]一种双面多工位卷绕式真空镀膜机在审
| 申请号： | 202110345071.5 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112813400A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李成林;杜雪峰;郝明 | 申请（专利权）人： | 辽宁分子流科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种双面多工位卷绕式真空镀膜机，用于新能源动力电池领域中在柔性基膜上制备多层膜层，该真空镀膜机主要包括放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室、收卷室、卷绕系统。磁控溅射镀膜室竖直立式排布，位于真空镀膜机的中部；真空蒸发镀膜室有2‑10个，呈层叠分两列排布于磁控溅射镀膜室的两侧，真空蒸发镀膜室内设置有蒸发装置；卷绕系统主要包括位于放卷室中的放卷辊、位于收卷室中的收卷辊，以及每个真空蒸发镀膜室中设置的主辊、前预冷辊和后预冷辊；位于蒸发装置上方的主辊承载需要进行蒸发镀膜的基膜，主辊内部通入循环冷却液，对基膜进行‑150℃至‑220℃的深冷处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 多工位 卷绕 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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