[发明专利]一种主动式压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110343341.9 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113074840B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陈小平;刘伊娜;文震;赵春;赵策洲 | 申请（专利权）人： | 西交利物浦大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;H02N1/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种主动式压力传感器及其制备方法。该主动式压力传感器包括第一金属电极层；第二金属电极层，与所述第一金属电极层相对设置；柔性有机介电层，位于所述第一金属电极层和所述第二金属电极层之间；所述柔性有机介电层在朝向所述第二金属电极层的一侧设置有多个凹槽结构。当所述第一金属电极层背离所述第二金属电极层的一侧表面受到压力时，所述柔性有机介电层发生形变，所述凹槽结构的槽底和/或侧壁与所述第二金属电极接触摩擦产生电荷，这样所述第一金属电极层与所述第二金属电极层之间产生电势差，实现了无需外部电路供电的压力传感器设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 主动 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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