[发明专利]经PCF传输的激光加工透明材料的设备和方法

摘要

本发明公开了经PCF传输的激光加工透明材料的设备和方法，加工设备包括预切激光器、空芯PCF光学板、贝塞尔切割头、振镜和CO2激光器，所述空芯PCF光学板传输超快激光到贝塞尔切割头和振镜中，所述CO2激光器上设置有出光头，所述贝塞尔切割头、振镜和出光头均设置在能够与待加工物产生竖直和/或水平相对运动的平台上。加工方法包括使用空芯PCF光学板作为导光臂，将超快激光直接耦合到贝塞尔切割头和振镜上，并对待加工物进行预切，而后由CO2激光器将预切后的待加工物进行分离或抛光。其能够实现待加工物的全种类加工，加工速度快，效率高，加工稳定可靠，加工出来的产品质量优良。