[发明专利]芯片检测方法及芯片检测装置在审
| 申请号： | 202110318085.8 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113075532A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 周舰波 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/52 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路失效分析技术领域，尤其涉及一种芯片检测方法及芯片检测装置。所述芯片检测方法包括如下步骤：提供待测试的芯片，所述芯片中具有若干一次性可编程存储器；传输测试信号至所述芯片，使得所述芯片中的所述一次性可编程存储器保持在锁存状态；探测所述芯片是否发出微光信号，若是，则确认所述一次性可编程存储器存在漏电缺陷。本发明不仅能检测出已出现误烧穿的一次性可编程存储器，而且还能够检测出漏电情况相对较为轻微的一次性可编程存储器，避免了存在潜在烧穿风险的不良产品流入后续生产线。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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