[发明专利]一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法在审
| 申请号： | 202110298319.7 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113074641A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张文涛;杜浩;熊显名;曾启林;朱保华;张玉婷;徐韶华;李洪阳 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法，包括运动台119、外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪。所述外差式光栅干涉仪包括读数头(115‑118)、二维光栅(111‑114)，4块二维光栅放置在运动台(119)上，每块二维光栅对应一个读数头，读数头出射激光束至二维光栅，并收集二维光栅的衍射光束。所述外差式激光干涉仪包括干涉仪镜组(101‑103)、干涉仪反射镜(104‑110)，水平向反射镜(116‑110)分别放置于运动台的3个侧面，垂向反射镜(104、105)放置在运动台上方。外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪能够同时测量运动台的位移，根据上述布局建立外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪的测量模型；设定运动台的轨迹，在不同轨迹下获取外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪分别测量的运动台位移，以外差式激光干涉仪的测量数据为参考，计算外差式光栅干涉仪测量模型中的位移补偿参数。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计算 光栅 干涉仪 位移 补偿 参数 装置 方法 | ||
【主权项】：
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