[发明专利]一种超硬耐高温Ta-C涂层的制备工艺有效
| 申请号： | 202110296863.8 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113061844B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;李灿民;范洪跃 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/02 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 胡发丁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超硬耐高温Ta‑C涂层的制备工艺，包括将工件置于真空腔室内，对真空腔室进行抽气处理，抽气处理后对真空腔室、纯离子镀膜源、工件中的一者或几者进行除杂处理，除杂处理后，采用溅射镀膜在工件表面依次制备种子层、金属过渡层、Ta‑C过渡层、Ta‑C交替层和Ta‑C主功能层，所述的种子层为Ni、Cr、NiCr、NiAl中的一者；金属过渡层为Ti、TiSi、TiAl、TiCr中的一者；制备Ta‑C过渡层时，工件连接的偏压值为T1的偏压；制备Ta‑C交替层时，工件交替连接偏压值为T2、T3的偏压，制备Ta‑C主功能层时，工件连接偏压值为T4的偏压，其中T1＞T2＞T3＞T4。本发明提供的上述方案，其制备的膜层性能优异，膜层超硬且耐高温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 ta 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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