[发明专利]一种薄膜材料扫描电镜截面制样夹具及其制样方法有效
| 申请号： | 202110282390.6 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113109375B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 巫业栋;李建;刘岳;江涛 | 申请（专利权）人： | 合肥波林新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 汪贵艳 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了扫描电镜观察分析样品领域的一种薄膜材料扫描电镜截面制样夹具及其制样方法，包括与标准镶嵌模具形状匹配的基座，基座上表面呈周向均匀分布有若干多面支撑体，相邻两个多面支撑体相邻的外侧表面位于同一平面，多面支撑体的外侧表面上粘贴有导电胶。在制样时，薄膜材料贴在导电胶上，制样夹具与薄膜材料放置在标准镶嵌模具内，利用含金属粉的镶嵌液固化成模。本发明通过使用导电的基座、多面支撑体、导电胶以及含金属粉的镶嵌液等，能够在薄膜和扫描电镜载物台之间形成一个导电的通路，使得扫描电镜所释放的带电粒子可以在该通道中转移和释放，大大减轻了荷电效应，解决了薄膜材料因柔软和不导电而造成的观察问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 扫描电镜 截面 夹具 及其 方法 | ||
【主权项】：
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