[发明专利]一种耐火型干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110273417.5 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112659691A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王国明;周慧芝;于涛;叶世强 | 申请（专利权）人： | 富维薄膜（山东）有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/06 | 分类号： | B32B27/06;B32B27/36;B32B33/00;B29C48/19;B29C48/29;B29C48/885 |
| 代理公司： | 青岛科通知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 37273 | 代理人： | 雷丽 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐火型干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，属于薄膜技术领域；该聚酯薄膜包括依次设置的上表层、芯层和下表层，所述芯层的组份包括纳米级蒙脱石聚酯基料，所述上表层为聚酯粘附层，所述下表层为聚酯耐火层；该聚酯薄膜的厚度为12~20μm。本发明的耐火型干膜抗蚀剂用聚酯薄膜相对于市面上常用的干膜抗蚀剂用聚酯薄膜具有更高的断裂伸长率以及拉伸强度且相对具有一定的耐火性。另外，本发明的聚酯薄膜还具有较高的透明度和较低的雾度，因此当光通过该聚酯薄膜照射在抗蚀层而进行曝光时，其曝光效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐火 型干膜抗蚀剂用 聚酯 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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