[发明专利]一种柱面母线直线度高精度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种柱面母线直线度高精度测量装置及测量方法，涉及几何量测量领域，其技术方案要点是：包括气浮导轨、气浮滑块、支撑组件、电感位移传感器以及测量终端；气浮滑块与气浮导轨活动连接，且气浮滑块与气浮导轨中配置的驱动丝杠套接，气浮滑块的顶部设置有定位座；支撑组件与气浮导轨固定连接，电感位移传感器与支撑组件连接，电感位移传感器的端部设有位于定位座上方的柱面测头；柱面测头的轴线方向与驱动丝杠的轴线方向相互垂直；电感位移传感器与测量终端电性连接。本发明能够高效、准确的测量出单曲柱面、双曲柱面等多种曲柱面的直线度，直线度测量结果误差小。