[发明专利]一种新型源极肖特基接触IGBT结构在审

专利信息
申请号: 202110249754.0 申请日: 2021-03-08
公开(公告)号: CN113013239A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 李平;林凡;廖永波;冯轲;李垚森;聂瑞宏;彭辰曦 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L29/47 分类号: H01L29/47;H01L29/417;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/739
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种新型源极肖特基接触IGBT结构,包括:集电极金属区,与所述集电极金属区上表面接触的P+型集电区,与所述P+型集电区上表面接触的N+型缓冲层,与所述N+型缓冲层上表面接触的N‑型漂移区,与所述N‑型漂移区上表面接触的P型沟道区,与所述P型沟道区上表面接触的肖特基接触金属源区,将所述P型沟道区和部分肖特基接触金属源区包围的环形结构栅电极,在栅电极与相邻功能层之间设置的一层栅介质层。本发明取缔了传统IGBT所寄生的晶闸管结构,解决了困扰着IGBT的闩锁效应,并且可以降低生产成本,减小器件面积,提高电流驱动能力,并降低导通电阻。
搜索关键词: 一种 新型 源极肖特基 接触 igbt 结构
【主权项】:
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