[发明专利]一种新型源极肖特基接触IGBT结构在审
申请号: | 202110249754.0 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN113013239A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 李平;林凡;廖永波;冯轲;李垚森;聂瑞宏;彭辰曦 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/47 | 分类号: | H01L29/47;H01L29/417;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/739 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种新型源极肖特基接触IGBT结构,包括:集电极金属区,与所述集电极金属区上表面接触的P+型集电区,与所述P+型集电区上表面接触的N+型缓冲层,与所述N+型缓冲层上表面接触的N‑型漂移区,与所述N‑型漂移区上表面接触的P型沟道区,与所述P型沟道区上表面接触的肖特基接触金属源区,将所述P型沟道区和部分肖特基接触金属源区包围的环形结构栅电极,在栅电极与相邻功能层之间设置的一层栅介质层。本发明取缔了传统IGBT所寄生的晶闸管结构,解决了困扰着IGBT的闩锁效应,并且可以降低生产成本,减小器件面积,提高电流驱动能力,并降低导通电阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 源极肖特基 接触 igbt 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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