[发明专利]减反射片制备方法及减反射片在审
| 申请号： | 202110229061.5 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113031123A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 付秀华;王海峰;张静;张功 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 欧志明 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减反射片制备方法及减反射片，所述减反射片应用于3.7‑4.8μm波长范围，所述减反射片包括基片、第一膜层、第二膜层以及第三膜层，所述基片为硫系玻璃；所述制备方法包括：确定所述电子枪的二次电子的轰击位置；在所述轰击位置放置导热板；对所述真空腔室进行抽真空操作，并通过所述加热装置对所述基片进行梯度加热；当所述真空腔达到预设真空度并且所述基片达到预设温度时，通过所述电子枪执行镀膜操作。本申请通过使用导热板，对电子枪在进行膜层蒸镀时产生的热量进行散热，减小真空腔室内的温度变化，从而解决了现有技术中在非球面硫系玻璃基底上双面镀膜容易脱膜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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