[发明专利]磁传感器、磁传感器的制备方法及电子设备在审
申请号: | 202110227059.4 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113030803A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 赵海轮;冷群文;安琪;邹泉波;周汪洋;丁凯文;周良 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;G01R33/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开一种磁传感器、磁传感器的制作方法及电子设备,该磁传感器包括衬底和多个磁阻模组,多个所述磁阻模组设于所述衬底,并形成惠斯通电桥,每一所述磁阻模组背离所述衬底的一侧设有至少一个金属薄膜片。本发明通过所述磁阻模组背离所述衬底的一侧覆盖金属薄膜片的设计,可以减少外部磁场的干扰,减少磁传感器的噪声。 | ||
搜索关键词: | 传感器 制备 方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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