[发明专利]一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法在审
| 申请号： | 202110207752.5 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112694091A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 汪海燕;刘振宇;林素贞 | 申请（专利权）人： | 刘振宇 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 东莞市浩宇专利代理事务所(普通合伙) 44460 | 代理人： | 石艳丽 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市哈*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及关键电子气体原料及智能制备技术领域，具体为一种基于芯片与智能制造的电子气体制备系统及方法。本发明包括底板和支撑架，底板的顶部的一端固定安装有支撑架，还包括：第一处理机构、第二处理机构、定量下料机构、上料机构、冷却机构、液氮回收机构、分子筛处理机构、深度提纯机构和电子气体存储罐，支撑架内部的顶端及低端分别设置有第一处理机构和第二处理机构，支撑架内位于第一处理机构的顶部设置有定量下料机构，且定量下料机构与第一处理机构连接，底板顶部位于两个支撑架的侧边均设置有上料机构，且两个上料机构分别与两个定量下料机构连接。本发明利用率高，成本耗用低，对电子气体的制备效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 芯片 智能 制造 电子 气体 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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