[发明专利]基于条纹追踪的光学元件轮廓检测方法、设备及存储介质有效
| 申请号： | 202110205746.6 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112985300B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 安其昌;刘欣悦;李洪文;王越 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 巴翠昆 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种基于条纹追踪的光学元件轮廓检测方法、设备及存储介质，包括：利用迈克尔逊干涉系统对标准光学元件表面进行测试，获取干涉条纹图；根据干涉条纹图得到光程差，从光程差中提取相位信息，并根据相位信息，获取标准光学元件表面的矢高信息；以干涉条纹图为输入，以标准光学元件表面的矢高信息为输出，构建并训练第一神经网络；同理对待测光学元件表面进行逐点扫描，获取待测干涉条纹图；将待测干涉条纹图输入至第一神经网络，获取待测光学元件表面每个点的矢高信息；根据迈克尔逊干涉系统在逐点扫描时的测量点坐标和待测光学元件表面每个点的矢高信息，获取待测光学元件的三维轮廓。这样的检测方法检测范围广且测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 条纹 追踪 光学 元件 轮廓 检测 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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