[发明专利]铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器在审

专利信息
申请号: 202110167064.0 申请日: 2021-02-05
公开(公告)号: CN112965271A 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 华勇;郑帅峰;雷成龙;杨春红 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
主分类号: G02F1/035 分类号: G02F1/035;G02F1/03;G01C19/72
代理公司: 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 代理人: 刘佳
地址: 400060 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器,包括双Y分支光波导相位调制器芯片,所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层,所述保护层上设有调制电极;所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导,所述铌酸锂脊形光波导形成双Y分支光波导结构,两个所述Y分支光波导通过基波导连接,所述基波导的两侧设有辐射区。本发明中,在基波导的两侧设置辐射区,有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声问题。另外,基波导采用直线结构,无需进行弯曲波导设计,因而能够使光波导的双Y分支结构以及基波导区域的尺寸大大减小,进而实现双Y分支光波导相位调制器的小型化。
搜索关键词: 铌酸锂 薄膜 分支 波导 相位 调制器
【主权项】:
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