[发明专利]探针头及包括其的探针卡在审
申请号: | 202110117009.0 | 申请日: | 2021-01-28 |
公开(公告)号: | CN113203881A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请(专利权)人: | 普因特工程有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;臧建明 |
地址: | 韩国忠清南道*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在根据本发明的探针头及包括其的探针卡中,可提供一种探针卡的探针头,包括:上部引导板,配置有上部引导孔洞;下部引导板,配置有下部引导孔洞;以及中间部引导板,配置有中间部引导孔洞,且配置在所述上部引导板与所述下部引导板之间,多个探针依序贯通所述上部引导孔洞、所述中间部引导孔洞及所述下部引导孔洞,所述中间部引导板由阳极氧化膜材质形成。 | ||
搜索关键词: | 探针 包括 | ||
【主权项】:
暂无信息
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