[发明专利]MicroLED显示面板及其形成方法在审
| 申请号： | 202110103713.0 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112768434A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 范纯圣;范世伦 | 申请（专利权）人： | 豪威半导体（上海）有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L25/075;H01L25/16;H01L21/768;G09F9/33 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MicroLED显示面板及其形成方法，MicroLED显示面板包括：驱动晶圆和MicroLED器件；驱动晶圆具有相对的第一表面和第二表面，驱动晶圆临近第一表面的区域分布有驱动电路；第二表面与驱动电路之间设置有多个硅通孔，硅通孔中填充有互连层；MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧；MicroLED器件通过互连层与驱动电路电连接。本发明为一种类BSI图像传感器制程,使高应力的MicroLED器件位于驱动晶圆的第二表面一侧，即使高应力的MicroLED器件远离驱动电路，避免了MicroLED器件(例如GaN层)的热膨胀等应力直接施予驱动电路造成损伤,进而提高可靠度。 | ||
| 搜索关键词： | microled 显示 面板 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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