[发明专利]一种酸活性树脂以及光刻胶在审
| 申请号： | 202110102205.0 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112920314A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 顾大公;许东升;余绍山;齐国强;岳力挽;马潇;李珊珊;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/28;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于光刻胶技术领域，提供了一种酸活性树脂以及光刻胶，所述酸活性树脂包括：极性侧链基团以及非极性侧链基团，所述极性侧链基团与所述非极性侧链基团互为衍生基团，且所述极性侧链基团与所述非极性侧链基团的原子个数之差为0～5个。本发明通过设计酸活性树脂的结构，从根本上调节酸活性树脂的极性，促使酸活性树脂的极性侧链基团与非极性侧链基团在空间结构上相近，进而使酸活性树脂具有良好的、稳定的极性‑非极性平衡，以促使制备的光刻胶膜具有良好的显影液浸润性，使光刻胶膜与衬底粘附性适中，得到尺度合适的光刻胶膜，以保持良好的线宽粗糙度、灵敏度以及分辨率的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 活性 树脂 以及 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波南大光电材料有限公司，未经宁波南大光电材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110102205.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
