[发明专利]暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备有效
| 申请号： | 202110097983.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112941484B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 马学猛;黄蓉 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备，该暖机控制方法用于半导体处理设备中，该半导体处理设备包括用于进行半导体工艺的工艺腔室，暖机控制方法包括：获取工艺腔室的当前空闲时长；根据预先配置的暖机配方中的暖机时长与空闲时长的对应关系，获得与当前空闲时长对应的当前暖机时长；将暖机配方中的暖机时长设定为当前暖机时长；执行设定后的暖机配方，对工艺腔室进行暖机工艺。本发明提供的暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备的技术方案，可以减少暖机时间的浪费，提高腔室恢复效率，从而可以提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 控制系统 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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