[发明专利]一种弱刚性平面构件的平行度测量方法

摘要

一种弱刚性平面构件的平行度测量方法，属于精密测量技术领域。所述平行度测量方法：首先，利用非接触式三坐标测量仪、打孔平晶、真空吸盘测量弱刚性平面构件的厚度数据和平面度数据。其次，将测得的厚度数据和平面度数据进行叠加，得出弱刚性平面构件两平面的形貌信息。最后，利用最小二乘法拟合出基准平面，计算得出弱刚性平面构件的平行度。本发明利用较容易测量的工件厚度和平面度评价工件平行度，计算精度较高；使用非接触式三坐标测量仪对弱刚性平面构件进行非接触式测量，测量精度较高；适用范围广，可用于大尺寸透明或非透明弱刚性平面构件平行度的测量。