[发明专利]一种蒸发源装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110070752.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112899621B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 晋亚杰;刘金彪;肖昂;罗楠;胡斌;加新星;刘文豪;李靖;李元星;姬磊;徐天宇;周杰;兰代江;朱伍权;党博谭;陈熙;谭志炜;龙燕;李端瑞;王强;高俊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蒸发源装置，包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料，所述坩埚的顶面设有用于输出所述蒸镀材料的喷嘴；以及第一壳体，用于容纳所述坩埚，所述第一壳体具有平行于所述坩埚的顶面的两个表面，其中靠近喷嘴的表面设有角度板，角度板的面积最大的表面与第一壳体的平行于坩埚的顶面的两个表面相垂直，用于限制所述蒸镀材料的蒸镀角，在第一壳体的未设置所述角度板的表面开设有活动门，通过开启所述活动门，所述坩埚能够移动到所述第一壳体的外侧。本发明的蒸发源装置在远离角度板处设置活动门，通过开启活动门将坩埚移入或移出壳体，从而实现无需拆卸角度板即可更换坩埚，避免了拆装角度板时的污染问题，降低了清洁角度板的清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
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