[发明专利]一种MEMS绝压式压力传感器及其加工方法有效
| 申请号： | 202110070350.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112897450B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 郭伟龙;焦海龙;陈家林;杨挺;王晓宇;张晓永;张洪涛;张皓;王健 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS绝压式压力传感器及其加工方法，该传感器包括玻璃盖板、硅感压膜和玻璃衬底；硅感压膜一面与玻璃衬底阳极键合，形成两个连通的真空参考腔，另一面与玻璃盖板阳极键合，形成两个独立的开放式气体感压结构，两个连通的真空参考腔与两个独立的开放式气体感压结构上下对应，并与硅感压膜构成串联互感双电容结构，硅感压膜上加工有引线电极，用于引出气压检测信号。外部气压通过开放式气体感压结构施加在硅感压膜上，与真空参考腔形成压差使硅感压膜变形，继而改变了硅感压膜与玻璃衬底之间电容极板间距，使电容值发生变化而反应外界气压大小；基于上述传感器的加工工艺步骤少，合格率极高，产品长期稳定性好，便于大规模批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 绝压式 压力传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司，未经北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110070350.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于建筑3D打印的施工设备
- 下一篇：一种具有防结块功能的新材料生产设备
