[发明专利]一种有机硅苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 202110059114.3 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112795018B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 张玉花 | 申请（专利权）人： | 山东硅科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C08G77/388 | 分类号： | C08G77/388;C08G77/20;C23F11/173 |
| 代理公司： | 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙) 44418 | 代理人： | 刘强;陈轩 |
| 地址： | 272200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机硅苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法，包括：1)制备含苯并咪唑硫醇单体，即2‑(4‑(1‑甲基苯并咪唑‑2‑基)苯基)乙硫醇；2)制备侧乙烯基硅油；3)硫醇单体与乙烯基硅油进行巯基‑乙烯基点击反应使聚硅氧烷分子量上接枝苯并咪唑基团，再经季铵化后，得到有机硅苯并咪唑缓蚀剂；与现有技术相比，本发明提供的有机硅苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，条件温和且产率高，分子结构易于控制和设计，并且具有良好的水溶性和热稳定性，适用于各种复杂的环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机硅 苯并咪唑 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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