[发明专利]锡槽装置有效
| 申请号： | 202110050680.8 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112794628B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 李青;李赫然;王伟伟;王耀君;张钻;胡恒广 | 申请（专利权）人： | 河北光兴半导体技术有限公司;东旭光电科技股份有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C03B18/16 | 分类号： | C03B18/16;C03B18/20 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 金兰 |
| 地址： | 050035 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种锡槽装置，包括锡槽罩、设置于该锡槽罩内部的多个第一分隔板与多个第二分隔板，多个第一分隔板沿锡槽罩的前后方向延伸并沿该锡槽罩的左右方向间隔设置，多个第二分隔板沿锡槽罩的左右方向延伸并沿该锡槽罩的前后方向间隔设置，以限定出多个分隔区域，且还包括与每个分隔区域一一对应设置的混合管路、第一管路、第二管路、以及能够进行开度大小调节的第一阀门与第二阀门；第一管路的入口端用于与氢气源连通，第一管路的出口端用于与混合管路的入口端连通，第一阀门设置于第一管路；第二管路的入口端用于与氮气源连通，第二管路的出口端用于与混合管路的入口端连通，第二阀门设置于第二管路；混合管路的出口端用于与分隔区域连通。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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