[发明专利]一种抛光用复合磨粒、研磨液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110049270.1 申请日: 2021-01-14
公开(公告)号: CN112778971A 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 冼锐伟;杨青松;秦宏友;廖小龙;刘楷;李方伟;毕倩兰;徐信林;李禅;吴沙鸥;李毅 申请(专利权)人: 深圳陶陶科技有限公司
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;C09G1/02
代理公司: 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 代理人: 周雷
地址: 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种抛光用复合磨粒,包括由内至外依次组成的内核体、杂化膜层、以及含有硬质磨粒的硬质磨粒层。所述内核体的包括氮化硅颗粒和/或氧化硅颗粒;所述杂化膜层为多孔结构的氧化铝杂化膜;所述硬质磨粒层中硬质磨粒的材料为金刚石、碳化硼、碳化硅、及立方氮化硼中的一种或多种。按质量分数计,所述抛光用复合磨粒包括内核体10‑40份,杂化膜层20‑80份,硬质磨粒层10‑40份。还提供一种包括上述复合磨粒的研磨液,以及该复合磨粒及研磨液的制备方法。抛光用复合磨粒、研磨液及其制备方法,使用该复合磨粒的研磨液研磨时,可以有效提高产品的研磨效率,且同时可以提高产品的表面质量,减小了产品划伤的概率。
搜索关键词: 一种 抛光 复合 研磨 及其 制备 方法
【主权项】:
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