[发明专利]一种环形图案的光学邻近效应校正方法有效
| 申请号： | 202110034006.0 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112859536B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 杨尚;韦亚一;张利斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环形图案的光学邻近效应校正方法，方法包括：将设计版图源文件转化为数字图像；判断数字图像中是否有封闭的环形图案；若有，则获取环形图案的外轮廓对应的外轮廓图案以及环形图案的内轮廓对应的内轮廓图案；对外轮廓图案和内轮廓图案进行光学邻近效应校正；将校正后的外轮廓图案和校正后的内轮廓图案写入版图文件并进行组合。通过分离出环形图案的外轮廓图案和内轮廓图案进行校正，由于外轮廓图案和内轮廓图案均为非环形图案，因此在将校正后的外轮廓图案和内轮廓图案写入gds格式的版图文件中时，不会由于坐标顺序的问题出现写入错误的问题，最后在版图文件中，通过对外轮廓图案和内轮廓图案进行组合，以得到校正后的环形图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 图案 光学 邻近 效应 校正 方法 | ||
【主权项】：
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