[发明专利]一种桥式差动柔性位移缩小机构在审
申请号: | 202110033934.5 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN112859535A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 陈贵敏;吴厚旗 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 贺小停 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种桥式差动柔性位移缩小机构,包括固定半桥柔性模块、活动半桥柔性模块、刚性连接块和驱动器;固定半桥柔性模块和活动半桥柔性模块均设置在两个刚性连接块之间,形成环形框架,驱动器设置在环形框架内的两个刚性连接块之间;固定半桥柔性模块和活动半桥柔性模块的弯曲方向相同;本发明利用两个半桥柔性模块的组合实现位移的差动叠加,可以得到大的位移缩小比,从而大幅提升运动的分辨率和精度;桥式差动柔性位移缩小机构可以与宏动平台配合,实现大范围、超高精度的运动定位。 | ||
搜索关键词: | 一种 差动 柔性 位移 缩小 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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