[发明专利]一种微扫机构及装调方法有效
申请号: | 202110018960.0 | 申请日: | 2021-01-07 |
公开(公告)号: | CN112834046B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 范翔;谈蕊 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02;G01J5/08;G01J5/48;G01J5/90 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 焉明涛 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种微扫机构及装调方法,其中装调方法包括:在第一自准直仪与第二自准直仪互准后,将第一反射镜和第二反射镜分别基于所述第一自准直仪和第二自准直仪进行调试;对所述第二反射镜进行灌胶,以完成微扫机构的装调。本发明装调方法可以仅通过一次性装调成功,实现了减少二次装调工序步骤,同时提高了定位精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 机构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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