[发明专利]一种基于图像识别的光栅耦合器定位测量方法有效
| 申请号： | 202110018302.1 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112859256B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 程振洲;胡浩丰;武靖雯;邢正锟;刘铁根 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/30 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于图像识别的光栅耦合器定位测量方法，具体包括以下步骤：(1)在芯片设计图中定位光栅耦合器的位置坐标；(2)将芯片设计图与测量平台上芯片的尺寸进行映射匹配，从而得到芯片中的光栅耦合器在测量平台上的位置坐标；(3)利用程序控制位移台移动，实现耦合光纤与光栅耦合器位置的微米级定位；(4)使用空间扫描方法实现耦合光纤与光栅耦合器位置的百纳米级以下定位，找出最优的耦合位置进行芯片测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 图像 识别 光栅 耦合器 定位 测量方法 | ||
【主权项】：
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