[实用新型]一种碳化硅晶体缺陷的检测装置有效
| 申请号： | 202023167935.9 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN213986159U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 陈敬楠;张平;邹宇 | 申请（专利权）人： | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括检测箱体，检测箱体的箱壁具有遮光功能，检测箱体中间设置有竖直布置的透明隔板，透明隔板将检测箱体分隔成前箱室和后箱室；前箱室内设置有光源和竖直布置的夹具，夹具用于夹持竖直放置的柱状碳化硅晶体，夹具连接有用于驱动夹具绕其自身的竖直轴转动的转动部件，光源用于向柱状碳化硅晶体朝向透明隔板的一侧投射光线，前箱室的顶箱壁和/或侧箱壁为可开合的箱壁结构；后箱室正对透明隔板的一侧箱壁上设置有观察窗口。通过使用该检测装置进行碳化硅晶体缺陷检测操作，在生产车间或任何其他场景下均能执行检测操作，操作十分方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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