[实用新型]一种冷却装置及冷却设备有效
| 申请号： | 202022619579.3 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213873406U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 秦亚群;彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种冷却装置，包括位于冷却室的冷却结构，冷却结构包括气盒，气盒内设有冷却水管，且气盒上设有出气部，冷却水管内冷却液用于对气盒内的冷却气体降温，并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室，对冷却室内的运输载板及运输载板上的工件进行降温。冷却装置还包括位于冷却室外部的冷却气循环结构，冷却气循环结构的一端与气盒连通，冷却气循环结构的另一端与冷却室连通。冷却气循环结构、气盒、冷却室三者形成冷却气体的闭环循环结构。该冷却装置具有结构简单、冷却效果好、效率高的优点，能够确保工件输出冷却室的工艺质控要求，确保工件的合格率及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 装置 设备 | ||
【主权项】：
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