[实用新型]一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置有效
申请号: | 202022158910.6 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN213739768U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 李建中;尚庆雷;肖体红 | 申请(专利权)人: | 昆山东威科技股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/12 | 分类号: | C25D17/12;C25D17/00;C25D21/04;C25D7/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 安志娇 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置,包括主体和隔膜,主体呈框架结构,框架围合形成容置腔,容置腔内适于放置阳极件,隔膜上密布多个第一通孔,隔膜设置在主体的框架结构的一侧上,隔膜上至少背向阳极件的一侧表面呈朝向阳极件凹陷的曲面。该阳极盒在电镀槽体中放置在待处理工件下方,且隔膜位于待处理工件的下表面和阳极件之间,由于隔膜上朝向待处理工件的下表面的一侧表面为曲面,因此,阳极件在电镀液中发生反应产生的气泡在上升至隔膜的表面后,由曲面的凹陷区沿隔膜表面向曲面的最高点转移,曲面的凹陷区内不存在气泡,正对该凹陷区的待处理工件不会受到气泡的影响,保证电镀的均匀性和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 阳极 组件 水平 电镀 装置 | ||
【主权项】:
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