[实用新型]一种真空镀膜设备的供气装置有效
| 申请号： | 202020797231.0 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN212451605U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 曹中华;何志飞;陈仕俊 | 申请（专利权）人： | 深圳沃飞科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 重庆卓茂专利代理事务所(普通合伙) 50262 | 代理人： | 许冲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜附属设备技术领域，且公开了一种真空镀膜设备的供气装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有套筒。该真空镀膜设备的供气装置，通过四个供气瓶共同供气，相比单个气瓶供气，四个供气瓶将供气时间延长三至四倍，由四个分支气阀统一管理，当其中一个或两个供气瓶没有气或者气压不足时，仅需开启其他分支气阀，让其补充气压，从而保证供气的稳定性，以此避免镀膜时不均匀的问题，此外，换气的时候，先然后内胆，将没有气的供气瓶转到最低处，然后将连接头与接气管拧动分离，之后将弹簧锁扣打开，接着把封盖拿开，最后将没有气的供气瓶抽出并替换，然后盖上封盖即可，整个换气步骤十分省力，且换气简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 供气 装置 | ||
【主权项】：
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