[实用新型]可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机有效
| 申请号： | 202020579909.8 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN211376582U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 京隆科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/16;H01J37/32;H01L21/673;H01L21/67;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，包括：腔体、晶舟盒、抽真空设备、气密门组件及电浆发射源，腔体内形成一腔室，腔体具有朝上的进入口，晶舟盒内承载着多片晶圆，由进入口下沉进入腔室内，气密门组件安装于腔体上且位于进入口处，用以开闭且维持腔室的密封，电浆发射源与抽真空设备分别连通腔室，抽真空设备使腔室内产生真空并维持腔室所需的真空度，电浆发射源对腔室内的晶舟盒发射感应耦合电浆，以轰击去除晶舟盒及晶圆表面的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 可容置晶舟盒 下沉 感应 耦合 洁净 | ||
【主权项】：
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