[实用新型]一种避免靶芯接触冷却水的圆柱靶及镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种避免靶芯接触冷却水的圆柱靶及镀膜设备，其中圆柱靶包括靶材和靶芯，靶芯的外部设有防水密封套管，靶芯的顶部和/或底部设有密封套环，靶芯的进水口和/或出水口处设有密封水管。本实用新型靶芯外部设置防水密封套管，在靶芯的顶部和底部设置密封套环，进水管的出水口处设置密封水管，冷却水从进水管导流到防水密封套管外，使冷却水充盈在防水密封套管和靶材之间，最终从回水口排除，通过冷却水的循环流通实现对靶材进行冷却的功能。本结构能确保靶芯不会被腐蚀，靶材表面的磁性不会发生变化，提高靶材表面的冷却均匀性，保持靶材镀膜状态一致，提高产品品质，有利于提高镀膜设备的稳定性。