[实用新型]多通道低干扰气体质谱分析自动进样装置有效
申请号: | 202020294017.3 | 申请日: | 2020-03-11 |
公开(公告)号: | CN211669147U | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 朱颜;王陆平;王仕华;孙建;王智 | 申请(专利权)人: | 江苏南大光电材料股份有限公司;全椒南大光电材料有限公司 |
主分类号: | G01N30/24 | 分类号: | G01N30/24;G01N30/72;G01N30/02 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及多通道低干扰气体质谱分析自动进样装置,包括依次串接的进样管路单元、压力控制单元、多通道进样阀单元以及质谱分流进样单元,进样管路单元包含以并联方式设置的高压氦气流路、低压氦气流路、砷烷流路、磷烷流路、标气流路、放空流路以及抽空流路;压力控制单元包含减压阀以及与其串接的压力控制器;多通道进样阀单元包含多通道进样选择阀一以及与其串接的多通道进样选择阀二,多通道进样选择阀一的通道分别与多通道进样选择阀二的对应通道串联。采用多通道进样选择阀的设计,解决了公用进样管路因限流作用存在的本底清扫困难等问题。采取多通道阀切换自动进样,依据待测样品类型,可选择不同模式,提升质谱分析检测的通用性。 | ||
搜索关键词: | 通道 干扰 体质 谱分析 自动 装置 | ||
【主权项】:
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