[实用新型]一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置有效
| 申请号： | 202020221208.7 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN211950197U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;蔡嘉雄;王雪松;李志峰;徐铭 | 申请（专利权）人： | 至微半导体（上海）有限公司;江苏启微半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | E06B5/10 | 分类号： | E06B5/10;E05F15/53;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆干燥槽装置的弓形挡门装置，包括：槽体、设于槽体上的第一挡门机构以及与所述第一挡门机构相对设置的第二挡门机构，所述第一挡门机构包括弓形结构梁、分别固定于所述弓形结构梁两端的传动组件与转动组件以及固定于所述弓形结构梁上的挡门，所述弓形结构梁包括第一直段、与所述第一直段一体化连接的第一倾斜段以及与所述第一倾斜段固定连接的连接段，所述连接段固定连接有第二倾斜段，所述第二倾斜段一体化连接有第二直段。根据本实用新型，结构简单实用，能够防止干燥槽内液体溅出以及干燥槽内的气体溢出对人造成损害，而且该弓形挡门装置使用时磨损小，使用时间长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 干燥 装置 弓形 | ||
【主权项】：
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