[实用新型]一种生长金刚石多晶膜用样品托及其装置有效
| 申请号： | 202020123117.X | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211921746U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 丁雄傑;王忠强;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/04;C30B29/64;C23C16/27;C23C16/458;C23C16/511 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体合成技术领域，具体涉及一种生长金刚石多晶膜用样品托及其装置，本实用新型的样品托顶部开设有用于放置衬底的容置槽，样品托底部设有由若干个同心圆环间隔分布形成的花纹，若干个同心圆环包括有实心圆环带和空心圆环带，本实用新型的样品托采用非对称式底部花纹，利用非均匀的底部散热来补偿由于等离子体球倾斜或偏移所导致的金刚石生长衬底的受热不均匀，可实现大面积金刚石多晶膜的高质量均匀生长；本实用新型的装置包括有上述结构的样品托，结构简单，设计合理，通过采用采用非对称式底部花纹的样品托，以改善外延金刚石多晶薄膜的厚度和晶向的均匀性，可实现大面积金刚石多晶膜的高质量均匀生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 金刚石 多晶 样品 及其 装置 | ||
【主权项】：
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